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真空機器 |
真空機器について 当社では半導体及び各種産業に欠かせない真空機器を取り扱っております。特に国内真空メーカー屈指の技術を誇るキヤノンアネルバ株式会社の販売特約店として、真空装置並びに真空機器の販売を行っております。もちろん、その他の国内外各メーカーの真空機器の取扱や、お客様のニーズに合わせた真空排気システムを設計・構築することも可能です。 |
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キヤノンアネルバエンジニアリング |
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| 詳細のページには、PDFカタログを掲載しています。 是非ダウンロードして内容をお確かめください。↓↓ |
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| 四重極型質量分析計（マスフィルタ） |  |
真空中に、どのような種類のガス成分が残っているかを分析する計測器です。薄膜製造装置のガス分析から炉内や加速器、スペースチャンバに至るまで、様々な分野でのガス分析に使用されています。 |
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| ヘリウムリークディテクタ |  |
| 真空機器のシール面や溶接ヶ所のリークの有無をヘリウムガスを用いて検知することができます。 コンパクト型、ハイパワー型、ドライポンプ型、量産製品向けコンソール型の用途に合わせて機種選択が可能です。 | |
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| ロータリーポンプ（油回転ポンプ） |  |
大気圧である105Pa〜10-1Pa台までの低真空と呼ばれる圧力領域で活躍する真空ポンプです。性能に優れ信頼性と実績の高いポンプとして、あらゆる真空分野で広くご使用頂いています。 |
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| ドライポンプ |  |
| プロセスと環境のクリーンを約束するアルカテル社のルーツ式ドライポンプ（ACPシリーズ）。 クリーンルームのように清浄度が求められる環境での設置に適しています。 |
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| ドライ真空ポンプユニット |  |
| ２種類の小型真空ポンプを組み合わせたドライ真空ポンプのユニット
「ドライテル１０２５」シリーズ。 ロータリーポンプに比べ真空排気系へのオイル成分の蒸発（オイルバック）が無く、クリーンな真空を得ることができます。 |
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| 低温トラップ（インライントラップ） |  |
| 真空装置のあら引きラインにおいて、真空度を良くするために使用されてきた、「液体窒素トラップ（LN2トラップ）」や、固形の吸着剤を用いてオイルバックを防ぐ「フォアライントラップ」に替わる、自ら冷凍機を搭載した新開発のトラップです。 | |
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| 真空計 |  |
| 真空計は圧力センサーの一種であり、大気圧よりも低い圧力（負圧）を計測する真空機器です。 キヤノンアネルバテクニクス社が開発したトランスデューサ型真空計は、回路部とセンサー部が一体となった真空計です。 |
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取り扱い製品真空機器（真空機器、真空装置、部品等）
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| ≪その他、真空機器、真空機器関連装置を順次紹介予定です≫ |
蒸着制御機器、ターボ分子ポンプ、配管部品（フランジ、チャンバー等） |
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| また、真空装置として、スパッタリング装置、蒸着装置、P-CVD装置、ガス分析装置、排気装置等も取り扱っております。 |
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真空機器、真空装置のことなら何でもお問い合わせ下さい。 |
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| 電話でのお問い合わせ先 |
| 東横化学(株) ガスソリューション第三事業部 真空機材部 |
| 真空機材チーム 担当：小野邉（オノベ） |
| TEL：044-435-5856(直) FAX：044-434-9091 |
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