当社では半導体及び各種産業に欠かせない真空機器を取り扱っております。特に国内真空メーカー屈指の技術を誇るキヤノンアネルバ株式会社の販売特約店として、真空装置並びに真空機器の販売を行っております。もちろん、その他の国内外各メーカーの真空機器の取扱や、お客様のニーズに合わせた真空排気システムを設計・構築することも可能です。
真空中に、どのような種類のガス成分が残っているかを分析する計測器です。薄膜製造装置のガス分析から炉内や加速器、スペースチャンバに至るまで、様々な分野でのガス分析に使用されています。
大気圧である105Pa〜10-1Pa台までの低真空と呼ばれる圧力領域で活躍する真空ポンプです。性能に優れ信頼性と実績の高いポンプとして、あらゆる真空分野で広くご使用頂いています。
真空装置のあら引きラインにおいて、真空度を良くするために使用されてきた、「液体窒素トラップ（LN2トラップ）」や、固形の吸着剤を用いてオイルバックを防ぐ「フォアライントラップ」に替わる、自ら冷凍機を搭載した新開発のトラップです。
蒸着制御機器、ターボ分子ポンプ、ドライポンプ、配管部品（フランジ、チャンバー等）
